近日，科技部組織召開國家02專項（極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝）“國產(chǎn)集成電路裝備零部件量產(chǎn)應(yīng)用工程”項目綜合績效評價會議。會議上，萬瑞公司承擔(dān)的超高真空冷泵研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化課題任務(wù)正式通過驗收。萬瑞公司自2014年承擔(dān)國家02專項超高真空冷泵研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化課題任務(wù)以來，歷時四年時間，通過持續(xù)的技術(shù)研發(fā)和大量的半導(dǎo)體工藝驗證，目前已成功開發(fā)出針對半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的集成智能控制系統(tǒng)的一拖多低溫泵組，該產(chǎn)品在機械和電氣接口上和國外主流低溫泵可以完全替換使用。
據(jù)萬瑞公司官方介紹，該設(shè)備不僅具備優(yōu)異的極限真空和抽速特性，更是突破了半導(dǎo)體行業(yè)十分關(guān)注的工藝壓力穩(wěn)定、本底壓力快速恢復(fù)、快速再生、一臺壓縮機拖多臺低溫泵等關(guān)鍵技術(shù)難點。
相較于傳統(tǒng)行業(yè)應(yīng)用，半導(dǎo)體集成電路行業(yè)應(yīng)用對低溫真空泵提出了更高的要求，包括遠程智能控制系統(tǒng)、極高的溫度穩(wěn)定性、工藝壓力穩(wěn)定性、快速本底真空恢復(fù)、較大的混合氣體容量、高效再生等。
2018年11月，科技部02專項辦組織了清華大學(xué)、中芯國際、中科信的多名專家成立了測試組，對萬瑞公司研制的集成電路用超高真空低溫泵進行了現(xiàn)場測試，測試結(jié)果表明產(chǎn)品整體技術(shù)狀態(tài)達到國外同類產(chǎn)品先進水平。產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的PVD鍍膜設(shè)備和離子注入機設(shè)備。
